產(chǎn)品型號(hào)
廠(chǎng)商性質(zhì)
更新時(shí)間
瀏覽次數(shù)
產(chǎn)品分類(lèi)
相關(guān)文章
v 可根據(jù)客戶(hù)需求定制化各類(lèi)工作臺(tái),滿(mǎn)足各類(lèi)半導(dǎo)體材料的研削薄化工藝
v 晶圓尺寸:8英寸
v 砂輪規(guī)格:?203(OD)mm
v 砂輪軸轉(zhuǎn)速范圍:0~6000 RPM
v 工作臺(tái)轉(zhuǎn)速:0~400 RPM
v Z軸行程:130mm
v Z軸進(jìn)給速度:0.1~1000 um /sec 可選配最小0.01um/sec
v 厚度在線(xiàn)測(cè)量分辨率:0.1um
v 厚度在線(xiàn)測(cè)量重復(fù)精度:±0.001 mm